Faglig innhold

Kurset inneholder modulkurs ved NTNU NanoLab innen et utvalg av følgende tema/teknikker: HMS kurs NTNU NanoLab, Litografi, Våtetsing, Lift-off, SEM grunnkurs, Tynnfilmdeponering og karakterisering, PECVD og tørretsing, Postprosessering - scribing/saging og trådbonding.

Læringsutbytte

A. Kunnskaper: Emnet skal gi det teoretiske og praktiske grunnlaget for å kunne jobbe i renrom generelt og det teoretiske, samt til dels det praktiske, grunnlaget for å forstå utvalgte eksperimentelle teknikker for strukturering og karakterisering med hovedvekt på fysiske metoder. B. Ferdigheter: Etter å ha fulgt undervisingen i emnet skal studentene selv kunne benytte utvalgte eksperimentelle teknikker for strukturering og karakterisering med hovedvekt på fysiske metoder. De utvalgte teknikkene skal være relevante for fordypningsprosjekt/masteroppgave innen Nanoteknologi/Nanoelektronikk.

Læringsformer og aktiviteter

Undervisingen vil foregå som modulkurs basert på infrastruktur i renrom, NTNU NanoLab. Det inngår trening i renromslaboratorium og praktisk opplæring og bruk av teknikker i renromslaboratorium. Hver modul vil inneholde en teoridel og en praktisk del. Det vil bli lagt stor vekt på den praktiske delen siden hensikten med fordypningsemnet er at studentene selv skal kunne benytte utvalgte eksperimentelle teknikker. Studentene vil få en teoretisk gjennomgang av alle de angitte eksperimentelle teknikkene. For et utvalg av de eksperimentelle teknikkene som er mest relevante for selvstendig arbeid vil det i tillegg tilbys praktisk demonstrasjon og praktisk prøve. Bestått praktisk prøve er nødvendig for å kunne benytte metoden selvstendig. Undervisningen i de valgte tema gjennomføres med aktiviteter som kan inkludere forelesninger, kollokvier, selvstudium, laboratorieøvinger, skriftlige rapporter og muntlige presentasjoner. Temaene gis som forelesninger, kollokvier, laboratorium eller som ledet selvstudium. Undervisningen blir gitt på engelsk dersom internasjonale masterstudenter følger temaet. På grunn av at alle laboratorieaktiviteter og de fleste forelesningene i kurset er obligatoriske, vil det være nødvendig for studentene å delta i undervisningen fra første uke. Selv om formell oppmeldingsdato er det samme som for andre emner, vil det ikke være mulig å bestå kurset dersom en ikke deltar på kurset fra og med første undervisningsuke. Det oppfordres også til å melde seg opp før semesterstart siden det vil lette arbeidet med å sette opp laboratoriegruppene.

Obligatoriske aktiviteter

• Laboratorieoppgaver

Spesielle vilkår

Anbefalte forkunnskaper

TFE4146 Halvlederkomponenter, TFY4220 Faste stoffers fysikk eller tilsvarende. Emnet inngår som en del av studiet for studenter ved studieprogrammene MTELSYS og MSELSYS med studieretning Nanoelektronikk og fotonikk, samt for studenter ved studieprogram MTNANO. Studenter ved andre studieprogram kan gis adgang til å ta emnet, men da kun forbeholdt de studentene som skal utføre fordypningsprosjekt evt. masteroppgave i NTNU NanoLab.

Forkunnskapskrav

TFE4167 Mikro- og nanofabrikasjon eller tilsvarende.

Kursmateriell

Oppgis ved semesterstart.

Studiepoengreduksjon